Конфокальный рамановский микроскоп ATM6000
3D лазерный сканирующий микроскоп ATM6000 разработан для бесконтактного измерения профиля, шероховатости и толщины пленки с разрешением нанометрового уровня на любых материалах и формах. В микроскопе реализован принцип конфокальной технологии, имеется комбинированный диск с несколькими отверстиями для параллельного сканирования, высокоточный модуль сканирования в z-направлении и алгоритм 3D-моделирования, которые позволяют сканировать поверхность объекта и получать бесконтактный профиль и 3D-изображения. ATM6000 используется как для 2D-, так и для 3D-оптических измерений. Конфокальный микроскоп используется для измерения различных параметров поверхности объекта от гладкой до шероховатой, от низкой до высокой отражательной способности, от наноуровня до микронного уровня шероховатости деталей, плоскостности, микроскопии геометрического профиля, кривизны и т.д. Результаты измерений полностью соответствуют международным стандартам ISO, ASME, EUR, GBT.
Применение:
- Производство полупроводников и обработка капсул;
- Производство стеклянных панелей для дисплеев и высокоточных компонентов электронных изделий;
- Производство оптики, наноматериалов микронного размера;
- Производство деталей автомобилей;
- Производство компонентов микроэлектромеханических систем.
Технические характеристики ATM6000:
- Принцип работы: оптическая система конфокальной микроскопии;
- Объективы: 10X, 20X, 50X, 100X;
- Поле зрения (FOV), мкм: 160×160 мкм
- Частота сканирования, Гц: ≥10 (при температуре 20±2℃, 20-кратный объектив, измерение образца золотой плитки размером 4,7 мкм);
- Диапазон перемещения по оси Z, мм: 100;
- Головка объектива: 5 отверстий, электрическая;
- Освещение: LED, макс. 840 мВт;
- Габаритные размеры, мм: 590×390×540;
- Масса, кг: 45;
- Электропитание: AC220V/50Hz;
- Рабочие условия: 10℃ — 35℃, градиент температур < 1℃/15 минут, влажность: 30-80%, вибрация <0,002g, <15Гц.
Измерения высоты
- Повторяемость, нм: при 20Х: 40, при 50х: 20, при 100х: 20 (температура 20 ± 2℃, измерение 4,7 мкм образца золотой плитки);
- Точность, мкм: 0,2 + L/100;
- Разрешение, нм: 0,5.
Измерение ширины
- Повторяемость, нм: при 20Х: 100, при 50х: 50, при 100х: 30 (температура 20 ± 2℃, измерение 4,7 мкм образца золотой плитки);
- Точность, %: ±2;
- Разрешение, нм: 1.
Предметный столик
- Размер, мм: 210×210;
- Диапазон перемещения, мм: 100×100;
- Максимальная нагрузка, кг: 10;
- Режим управления: электрический.
- Брошюра на конфокальный рамановский микроскоп ATM6000