Лазерный сканирующий 3D микроскоп Keyence VK-X100/X200
Keyence серии VK-X100/X200 — приборы, сочетающие в себе удобство цифрового оптического микроскопа, точность (высокие разрешение и глубина резкости), характерную для электронного микроскопа, и широкие возможности, присущие бесконтактному лазерному профилометру.
Программное обеспечение семейства VK-X100/X200 легко в использовании, имеет интуитивно-простой в освоении интерфейс и позволяет:
- Измерять высоту, ширину, поперечное сечение, угол или радиус любого выбранного пользователем профиля в разрезе;
- Выполнять бесконтактное измерение в XYZ координатах, измерения в 3D, профилометрию, неровности любой линии, а также шероховатости с большой точностью на выбранном участке объекта;
- Измерять объем, площадь поверхности и отношение участка к площади поверхности объектов;
- Проводить автоматические измерения высоты и ширины структур;
- Сравнивать наложением изображения с измерением различий объектов.
Выполнение бесконтактных измерений профиля и шероховатости практически любых материалов.
- Апохроматические объективы 10х, 20х, 50х/0,95, 150х/0,95;
- Моторизованный оптический zoom от 1х до 8х;
- Суммарное увеличение до 24.000х*;
- Разрешение по Z — 0,0005мкм (повторяемость σ 0,012 мкм**);
- Диапазон измерений по Z – 7 мм;
- Разрешение по XY — 0,001мкм (повторяемость 3σ 0,02 мкм***);
- 1/3″ цветная CCD камера со сверх высоким разрешением (3072х2304).
* Увеличение объектива 150х, соотношение размеров матрицы и монитора 20х даёт увеличение 3000х + промежуточный оптический ZOOM даёт увеличение до 8х, итого 24000х крат.
** Повторяемость σ определялась экспериментально путём многократного измерения стандарта глубины 2 мкм (объектив 50х/0,95).
*** Повторяемость 3σ определялась экспериментально путём многократного измерения дифракционной решетки (расстояние между линиями на стандартном образце 1 мкм, объектив 150х/0,95).