Масс-спектрометр TOF.SIMS M6 Plus

Масс-спектрометр TOF.SIMS M6 с интегрированным атомно-силовым микроскопом.



Масс-спектрометр TOF.SIMS M6 Plus - это единственная система подобного рода. Одновременное получение химических и физических (морфология, твердость, проводимость, магнитные свойства и т.п.) в одном цикле измерений без извлечения образца. Программное обеспечение позволяет накладывать латеральные и объемные химические и физические карты.

 Аналитическая ионная пушка Nanoprobe 50:

Времяпролетный анализатор:

Ионная колонна травления: