Масс-спектрометр вторичных ионов TOF.SIMS M6
TOF.SIMS M6 - уникальный на данный момент времяпролетный масс-спектрометр шестого поколения от ION TOF GmbH (Германия).
За 12 лет производства прибора пятого поколения TOF.SIMS 5 он непрерывно модернизировался и изменялся, но качественный опрос сотен пользователей подобных масс-спектрометров показал, что для ряда особо тонких задач необходим инструмент совершенного нового класса.
По сравнению с пятой моделью прибор изменился кардинально и представляет собой полностью новую систему:
- Новый времяпролетный анализатор (длинна аналитической колонны возросла на 20%, среднее разрешение по массе выросло с 17000 до 27000 единиц;
- Новая кластерная аналитическая импульсная ионная пушка гарантирует латеральное разрешение в 50 нм на любых образцах. Источник получил совершенно новую ионную оптику и набор автоматических апертур;
- Новая система управления импульсными элементами позволяет работать в уникальном режиме с одновременно хорошим разрешением по массе и пространству;
- Появилась кластерная кислородная пушка для травления;
- Программное обеспечение с полными спектральными базами и элементами искусственного интеллекта для упрощения анализа.
В базовой комплектации установка содержит следующие компоненты:
- Главная сверхвысоковакуумная камера. Камера поддерживает монтаж трех ионных колонн. В базовой конфигурации комплектуется двумя колоннами — аналитической и травления. В качестве третьей, как опции, могут выступать: аргоновая кластерная пушка, FIB, пушка на фуллеренах C60.
- Ионная колонна времяпролетного анализатора рефлекторного типа, включающая пилотный лазер для калибровки положения держателя образцов. Колонна безшлюзно соединена с главной вакуумной камерой.
- Камера загрузки. Выпускается в трех вариантах: для 100 мм, 200 мм, 300 мм образцов. Разделена шлюзом с главной камерой. Имеет отдельную систему откачки. Время откачки от атмосферы до рабочего давления 5х10-7 торр составляет около 3 минут. В камере возможно размещение системы предварительного нагрева/охлаждения образцов.
- Колонна аналитической ионной висмутовой пушки. Имеет шлюз с главной камерой и дифференциальную систему откачки. Возможна установка поста акселерации/торможения пучка.
- Ионная колонна травления. Имеет шлюз с главной камерой и дифференциальную систему откачки. По умолчанию содержит два источника: газовый кислород/аргон, жидкометаллический цезиевый. Газовый источник может быть заменен на кластерный, кислородный, цезиевый на ксенон/цезиевый распылитель.
- Блок всей необходимой промышленной электроники для управления и питания установки.
- Система откачки. Содержит только турбомолекулярные насосы и один безмасляный скролл-форвакуумный насос. Самая бесшумная система на рынке — звук при откачке менее 34 дБ. Возможна дополнительная комплектация прибора титановым сублимационным насосом для очистки камеры от едких и сильно загрязняющих химических веществ.
- Моторизированный столик с пятью степенями свободы. Монтируется в главной камере. Служит для манипуляции с держателем образцов во время калибровки и измерения. Для столика используется самая прецизионная немецкая и японская механика и пьезоэлементы.
- Рабочее место оператора, включающее компьютер и два монитора.
- Лицензия на программное обеспечение SurfaceLab 7 — ключи на 2 рабочих места.
- Два держателя для образцов разных типов (до 20 образцов на одном держателе).
- Полный комплект газового обеспечения — баллоны, трубки, редукторы, компрессор.
- Пневматическая подвеска основной камеры инструмента. Работает на сжатом воздухе.
- Набор запчастей и всех необходимых инструментов для монтажа установки.
- Компенсатор заряда для диэлектриков.
- Две CCD-видеокамеры сверхвысокого разрешения для наблюдения за размещением держателя образцов и навигации. Размещаются в главной вакуумной камере.
- Детектор Эверхарта-Торнли вторичных электронов. Используется для юстировки и калибровки ионных пучков.
Аналитическая ионная пушка Nanoprobe 50:
Времяпролетный анализатор:
Ионная колонна травления:
