Реактивное ионное травление селенида свинца (PbSe)
Лаборатория OIPT: Глубокое (0,7 мкм) травление PbSe, фоторезист удален.
Технологические особенности: реактивное ионное травление с помощью ВЧ генератора с параллельными электродами и частотой возбуждения плазмы - 13.56 МГц
Результаты:
- Скорость: 50 - 100 нм/мин;
- Маска: фоторезист;
- Равномерность 5% (по пластине 75 мм;)
- Селективность к фоторезисту 5:1;
- Профиль анизотропный, слегка шероховатый.