Система плазмохимического травления PlasmaPro 1000 Astrea Etch
Система плазмохимического травления PlasmaPro1000 Astrea предлагает решения для всех обоснованных требований LED индустрии: высокая производительность; высокое качество продукции; низкая себестоимость продукции
Система создана для работы с агрессивной химией, требуемой для получения LED материалов. PlasmaPro1000 Astrea обеспечивает высокую скорость травления и хорошую равномерность по пластинам, обрабатываемых в одной загрузке. Система создавалась с целью увеличения времени непрерывной работы и обеспечению удобства в эксплуатации.
Технологические особенности системы:
- 490 мм электрод обеспечивает высокую выработку продукции, есть возможность обработки партии пластин 7 x 6”;
- высокие качество продукции и выход годной продукции;
- два места подачи рабочего газа в камеру для широкой возможности настройки процесса;
- надежное техническое обеспечение и простота в обслуживании позволяют максимизировать время эксплуатации;
- низкая себестоимость продукции;
- шлюзовая камера в стандартной комплектации, открытая загрузка и возможность кластеризации - опционально;
- система спроектирована с учетом минимального загрязнения верхних деталей системы;
- движущийся электрод для получения превосходной равномерности.
Основными процессами для этой системы являются травление GaN, AlGaInP и сапфира:
