В состав комплекса входят два прибора.

Комбинированная установка нанесения металлических
и углеродных покрытий на образцы
для электронной микроскопии

Для нанесения металлического покрытия установка оснащена магнетроном постоянного тока, для нанесения углеродного покрытия используется термическое резистивное импульсное испарение углеродного шнура.

Характеристики

Вакуумная система:

  • Вакуумная камера: 2 шт. боросиликатное стекло, внутренний диаметр 156 мм, высота 150 мм.
  • Уплотнения: резиновые каучуковые, опционально доступны фторкаучуковые уплотнения.
  • Форвакуумный насос (масляный роторный насос с фильтром-маслоуловителем) — рабочий вакуум в камере до 1e-3 Торр.
  • Опция: Безмасляным спиральным насосом.
  • Опция: Турбомолекулярный насос с диафрагменным форвакуумным насосом (безмасляная система) — рабочий вакуум в камере до 1e-5 Торр.

Рабочий газ:

  • Отдельный вход для рабочего газа (рекомендован аргон чистотой 99,99%).
  • Возможно работать с атмосферным воздухом.
  • Для напуска атмосферы и продувки установка оснащена отдельным входом для пользовательского газа (рекомендован азот чистотой не хуже 99,99%).

Рабочий столик:

  • Вращение столика (опция) до 24 оборотов в минуту с плавной регулировкой.
  • Одновременная установка до 37 стандартных 12 мм столиков для сканирующей электронной микроскопии.
  • Опциональные столики для металлографических образцов (шайбы диаметром 1, 1,25, 1,5, 2 дюйма).
  • Опциональные столики для работы со стеклянными слайдами, предметными стеклами.
  • Возможность изготовить любые держатели по заданию заказчика.

Магнетронный испаритель:

  • Диаметр мишени 57 мм (опционально доступен держатель для мишеней диаметром 54 мм).
  • Механическая заслонка.
  • Автоматическое управление высоким напряжением и током разряда.
  • Автоматическое управление напуском рабочего газа.
  • Диапазон задаваемого тока 4-100 мА.
  • Напыление по таймеру до 2 часов.
  • Опция: контроль толщины напыления по кварцевым весам с функцией остановки процесса напыления.

Терморезистивный испаритель:

  • Испаряемый материал: углеродный шнур, возможность напыления металлов.
  • Механическая заслонка.
  • Максимальный ток испарителя 90 А.
  • Автоматическое управление током.
  • Возможность задания скважности импульсов.
  • Режим отжига и дегазации шнура (нити накала).

Управление:

  • Встроенный микрокомпьютер с программой управления.
  • Дисплей с графическим сенсорным интерфейсом диагональю 7 дюймов, цветной.
  • Возможность сохранения и загрузки пользовательских рецептов (1000+ шт).
  • Запись журнала работы, состояния и ошибок.
  • Возможность выгрузки рецептов и журналов на USB-накопитель.
  • Возможность загрузки рецептов из файла с USB-накопителя.
  • Автоматическое и ручное управление процессами.

Установка плазменной активации поверхности
для криоэлектронной микроскопии

Установка позволяет обрабатывать поверхность образцов (сеточек для просвечивающей электронной микроскопии и предметных стекол) в плазме тлеющего разряда рабочего газа.

Характеристики

Вакуумная система:

  • Вакуумная камера: 2 шт. боросиликатное стекло, внутренний диаметр 156 мм, высота 150 мм.
  • Уплотнения: резиновые каучуковые, опционально доступны фторкаучуковые уплотнения.
  • Форвакуумный насос (масляный роторный насос с фильтром-маслоуловителем) — рабочий вакуум в камере до 1e-3 Торр.
  • Опция: Безмасляным спиральным насосом.
  • Опция: Турбомолекулярный насос с диафрагменным форвакуумным насосом (безмасляная система) — рабочий вакуум в камере до 1e-5 Торр.

Рабочий газ:

  • Отдельный вход для рабочего газа.
  • Возможно работать с атмосферным воздухом.
  • Для напуска атмосферы и продувки установка оснащена отдельным входом для пользовательского газа (рекомендован азот чистотой не хуже 99,99%).

Рабочий столик:

  • Столик для работы с стеклянными слайдами, предметными стеклами.
  • Столик для установки сеточек для просвечивающей электронной микроскопии диаметром 3 мм.
  • Возможность изготовить любые держатели по заданию заказчика.

Тлеющий разряд:

  • Одна камера для работы с атмосферным воздухом.
  • Вторая камера для работы с рабочим газом пользователя.
  • Выбор полярности разряда.
  • Автоматическая откачка с продувкой (азотом/аргоном).
  • Управление током разряда в полностью автоматическом режиме.
  • Таймер процесса до 2 часов.

Управление:

  • Встроенный микрокомпьютер с программой управлениям.
  • Дисплей с графическим сенсорным интерфейсом диагональю 7 дюймов, цветной.
  • Возможность сохранения и загрузки пользовательских рецептов (1000+ шт).
  • Запись журнала работы, состояния и ошибок.
  • Возможность выгрузки рецептов и журналов на USB-накопитель.
  • Возможность загрузки рецептов из файла с USB-накопителя.
  • Автоматическое и ручное управление процессами.