Установка нанесения металлических покрытий на образцы для электронной микроскопии C156RS – Техноинфо

Характеристики

Вакуумная система:

Вакуумная камера: 2 шт. боросиликатное стекло, внутренний диаметр 156 мм, высота 150 мм;
Уплотнения: резиновые каучуковые, опционально доступны фторкаучуковые уплотнения;
Форвакуумный насос (масляный роторный насос с фильтром-маслоуловителем) — рабочий вакуум в камере до 1e-3 Торр;
Опция: Безмасляным спиральным насосом;
Опция: Турбомолекулярный насос с диафрагменным форвакуумным насосом (безмасляная система) — рабочий вакуум в камере до 1e-5 Торр.

Рабочий газ:

Отдельный вход для рабочего газа (рекомендован аргон чистотой 99,99%);
Возможно работать с атмосферным воздухом;
Для напуска атмосферы и продувки установка оснащена отдельным входом для пользовательского газа (рекомендован азот чистотой не хуже 99,99%).

Рабочий столик:

Вращение столика (опция) до 24 оборотов в минуту с плавной регулировкой;
Одновременная установка до 37 стандартных 12 мм столиков для сканирующей электронной микроскопии;
Опциональные столики для металлографических образцов (шайбы диаметром 1, 1,25, 1,5, 2 дюйма);
Опциональные столики для работы со стеклянными слайдами, предметными стеклами;
Возможность изготовить любые держатели по заданию заказчика.

Магнетронный испаритель:

Диаметр мишени 57 мм (опционально доступен держатель для мишеней диаметром 54 мм);
Механическая заслонка;
Автоматическое управление высоким напряжением и током разряда;
Автоматическое управление напуском рабочего газа;
Диапазон задаваемого тока 4-100 мА;
Напыление по таймеру до 2 часов;
Опция: контроль толщины напыления по кварцевым весам с функцией остановки процесса напыления.

Терморезистивный испаритель:

Испаряемый материал: металлические мишени;
Опция: углеродный шнур для напыления углерода;
Механическая заслонка;
Максимальный ток испарителя 90 А;
Автоматическое управление током;
Возможность задания скважности импульсов;
Режим отжига и дегазации шнура (нити накала).

Управление:

Встроенный микрокомпьютер с программой управления;
Дисплей с графическим сенсорным интерфейсом диагональю 7 дюймов, цветной;
Возможность сохранения и загрузки пользовательских рецептов (1000+ шт);
Запись журнала работы, состояния и ошибок;
Возможность выгрузки рецептов и журналов на USB-накопитель;
Возможность загрузки рецептов из файла с USB-накопителя;
Автоматическое и ручное управление процессами.